IPA温控单元IPA Temperature control unit

特点

  1. 装备了以热传导流体(纯水)为换热器的
    高精度温控设备
  2. 最大药液系统数量多达12个
    可配套于广泛领域的机器
  3. 防爆构造以及大容量集水盘设计确保较
    高安全性
  4. 采用INV控制节省能耗

IPA温控单元

规格

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项目 / 型式 RCTU-6 RCTU-12
药液种类 IPA
温度调整范围 40℃~70℃
温控精度 设定温度 ±0.5℃(设备出口温度)
药液系统数量 6系统(最大) 12系统(最大)
药液流量 Min:0L/min~Max:0.3L/min(每1系統)
压力损失 0.03Mpa以下
加热器能力 达到设定温度所要时间:60min以内
药液接触部位材质 PFA、PTFA
外形尺寸 1090(W)×1326(D)×1898(H) 1110(W)×1650(D)×1811(H)
重量 600kg 700kg

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用途

  • 半导体清洗工序
  • 液晶清洗工序 等

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