特点
- 采用高效率石墨加热管作为热源
- 提高热效率节省能耗
（与卤素加热管相比） - 电阻值长期稳定，从而延长加热器使用寿命
- 搭载高精度过滤器（选配）
可过滤微细粒子
仕様
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| 项目 / 型式 | RHDIW150A | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 液体种类 | 超纯水 | ||||||
| 设定温度范围 | 25℃～85℃ | ||||||
| 温控精度 | 设定温度±1℃以内 | ||||||
| 药液流量 | 38L/min（标准） | ||||||
| 压力损失 | 0.027MPa以下 | ||||||
| 加热器能力 | 147kw（石墨加热管） | ||||||
| 纯水接触部位材质 | 石英、氟树脂 | ||||||
| 电源 | 3相 AC220V～480V ±10% | ||||||
| 外形尺寸 | 1010（W）×1260（D）×2120（H） | ||||||
| 重量 | 520kg | ||||||
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用途
- 半导体清洗工序
- 液晶清洗工序
- 药液稀释加热 等