特点
- 2KW高精度中型ACU（温控精度：±0.1℃）
- 1190ｍｍ（W）×570ｍｍ（D）×510ｍｍ（D）紧凑型尺寸
- 采用INV控制节省能耗
规格
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| 项目 / 型式 | RＡCU-20VXC | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 冷冻能力 | 2KW | ||||||
| 设定温度范围 | 15℃～30℃ | ||||||
| 温控精度 | ±0.1℃ | ||||||
| 风量调整范围 | 2.1m3/min～4.3m3/min | ||||||
| 使用环境温湿度 | 温度：20℃～26℃ 湿度：35%RH～55％RH | ||||||
| 电源 | 3相 AC200V～240V（50/60Hz） | ||||||
| 外形尺寸 | 570（W）×510（D）×1190（H） | ||||||
| 重量 | 85kg | ||||||
| 使用冷媒 | R410A | ||||||
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用途
- 晶圆制造设备的热源机
- 液晶制造设备的热源机
- 电路板曝光机的热源机
- 医疗设备 等