※请将表横向滚动进行阅览。
| SCRD8A（200mm用） | SCRD12A（300mm用） | |
|---|---|---|
| 腔室 | 内径φ230×20mm | 内径φ320×40mm |
| 外形尺寸 | （W）1000×（D）1000 ×（H）2000mm |
（W）1220×（D）1130 ×（H）1860mm |
| 重量 | 约550kg | 约950kg |
| 压力 | 常用12MPa | |
| 温度 | 常用45℃ | |
| 构成 | 主机、冷却装置、溶剂回收装置、高压气体申请文件等 | |
| 电源 | 主机：单相200V,16A 冷却装置：AC100V,12A |
主机：单相200V,23A 冷却装置：AC100V,12A |
| 其他 | N2 或 空气 | |
※请将表横向滚动进行阅览。