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晶圆传送盒搬运机器人Warp transfer robot

特点

  1. 搭载2台机械臂,大幅度缩短晶圆传送盒的搬运时间
  2. 晶圆传送盒存放数可达20个以上
  3. 可倒式Z轴构造,应对卡车运输时高度限制问题

晶圆传送盒搬运机器人

规格

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项目 / 型式 晶圆传送盒搬运机器人
搬运性能 最大速度:933mm/s(Z軸・Y軸) 81deg/s(吊臂軸)
吊挂夹具 最大行程:25mm(单侧)
安全结构 吊臂传感器(碰撞/收纳)、传送盒检测传感器 等
使用流体 无尘干燥空气
需要流量 5L/min
电源 3相 AC200V~230V(50/60Hz)
外形尺寸 2360(W)×960(D)×2820(H)/(2600H)
重量 主体部分:500kg 控制箱:27kg

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用途

  • 半导体晶圆传送盒的存放和供给搬运

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