特点
- -50℃～+150℃之间的宽幅温度调控
- 达到30L/min的高流量
- 实现高精度温度调控（±1.0℃）
- 采用INV控制节省能耗
规格
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| 项目 / 型式 | RCU-20WL | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 冷冻能力 | 2KW | ||||||
| 加热能力 | 2KW | ||||||
| 控制精度 | ±1.0℃ | ||||||
| 系统 | 二元冷冻循环 | ||||||
| 电源 | 3相 AC200V～240V（50/60Hz） | ||||||
| 外形尺寸 | 1100（W）×1300（D）×1990（H） | ||||||
| 重量 | 860kg | ||||||
| 使用冷媒 | R404A | ||||||
| 制冷方式 | 水冷式 | ||||||
| 适用规格 | SEMI S2标准 | ||||||
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用途
- 晶圆制造设备的热源机
- 液晶制造设备的热源机
- PV装置（激光加工机 等）的热源机
- 医疗设备（CT・MRI 等）其他