特点
- 全长（高度）短小化的特殊规格
- 短小化使得设备放置所占空间缩小
- 应对ISO等级1的无尘度
规格
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| 项目 / 型式 | LPS | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 适用载体 | 300mm 25枚传送盒（SEMI E47.1 标准品） | |||||||
| 对象晶圆 | 300mm Si 晶圆 | |||||||
| 运行时间 | LOAD / UNLOAD：8±1sec（映射处理 无） | |||||||
| LOAD / UNLOAD：14±1sec（映射处理 有） | ||||||||
| 电源 | DC24V | |||||||
| 外形尺寸 | 470（W）×590（D）×910（H） | |||||||
| 重量 | 50kg | |||||||
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用途
- 半导体制造设备的接口（晶圆进出）