※请将表横向滚动进行阅览。
| 使用流体 | CO2 |
|---|---|
| 使用压力 | 14MPa |
| 使用温度 | 40℃ |
| 腔室 | 内径φ110×26mm |
| 安全功能 | |
| 电气安全装置、机械安全装置、防过热保护 | |
| 控制面板 | 采用触摸屏进行运转程序设定 |
| 外形尺寸 | （W）600×（D）450×（H）400mm（含手柄） |
| 重量 | 约60kg |
| 电源 | AC100V 50/60Hz 10A |
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首页 » 产品中心 » 超临界清洗・干燥装置 » 台式型SCRD4（适用4英寸晶圆）
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| 使用流体 | CO2 |
|---|---|
| 使用压力 | 14MPa |
| 使用温度 | 40℃ |
| 腔室 | 内径φ110×26mm |
| 安全功能 | |
| 电气安全装置、机械安全装置、防过热保护 | |
| 控制面板 | 采用触摸屏进行运转程序设定 |
| 外形尺寸 | （W）600×（D）450×（H）400mm（含手柄） |
| 重量 | 约60kg |
| 电源 | AC100V 50/60Hz 10A |
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