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超临界清洗・干燥装置Supercritical Rinser & Dryer

超临界清洗・干燥装置 Supercritical Rinser & Dryer

超临界清洗・干燥装置是使用不会产生毛细管力・表面张力的超临界流体,可使超微细构件得到清洗・干燥且不会造成变形或破坏。

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产品阵容

台式型SCRD4
(适用4英寸晶圆)

台式型SCRD4

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固定型SCRD6/8
(6英寸、8英寸晶圆用)

固定型SCRD6/8

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自动型SCRD8/12
(8英寸、12英寸晶圆用)

自动型SCRD8/12

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