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超臨界洗浄・乾燥装置Supercritical Rinser & Dryer

超臨界洗浄・乾燥装置 Supercritical Rinser & Dryer

超臨界洗浄・乾燥装置は、毛細管力・表面張力が発生しない超臨界流体を使用する事で、超微細構造物を変形や破壊をせずに、洗浄・乾燥が可能な装置です。

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製品ラインナップ

卓上型SCRD4
(4インチウエハ用)

卓上型SCRD4

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据置型SCRD6/8
(6インチ、8インチウエハ用)

据置型SCRD6/8

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自動型SCRD8/12
(8インチ、12インチウエハ用)

据置型SCRD8

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