基板外観検査装置
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| 製品名 | 旧型式 | 後継機 型式 |
|---|---|---|
| 基板外観検査装置 （Mサイズ基板 2D検査 卓上タイプ） |
Sherlock-300F/FH | Sherlock-300FA/FHA |
| 基板外観検査装置 （Mサイズ基板 2D検査 インラインタイプ） |
Sherlock-300I/IH | Sherlock-300IA/IHA |
| 基板外観検査装置 （Mサイズ基板 裏面検査 インラインタイプ） |
Sherlock-300R | Sherlock-300RA |
| 基板外観検査装置 （Mサイズ基板 2D検査 バッチラインタイプ） |
Sherlock-300B/BA | 後継機無し |
| 基板外観検査装置 （Lサイズ基板 3D検査 インラインタイプ） |
Sherlock-3D-1000S Sherlock-3D-1100S |
Sherlock-3D-1100SA |
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リール用フリーラック
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| 製品名 | 旧型式 | 後継機 型式 |
|---|---|---|
| リール用フリーラック | ストック名人 フ・リール |
後継機無し |
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超臨界乾燥装置
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| 製品名 | 旧型式 | 後継機 型式 |
|---|---|---|
| 据置型超臨界乾燥装置 （6インチ、8インチウエハ用） |
SCRD6/8 | 後継機無し |
| 自動型超臨界乾燥装置 （8インチ、12インチウエハ用） |
SCRD8A/12A | 後継機無し |
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