ホーム » 製品情報 » 搬送ロボット(半導体製造装置) » ロードポート(ショートタイプ)

ロードポート(ショートタイプ)Load port

特長

  1. 全長(高さ)をショート化した特殊仕様
  2. ショート化による設置装置のフットプリント
    縮小
  3. ISOクラス1のクリーン度に対応

ロードポート(ショートタイプ)

仕様

※表は横にスクロールしてご覧ください。

項目 / 型式 LPS
対応キャリア 300mm 25枚Foup(SEMI E47.1 準拠品)
対象ウエハ 300mm Si ウエハ
動作時間 LOAD / UNLOAD:8±1sec(マッピング無)
LOAD / UNLOAD:14±1sec(マッピング有)
電源 DC24V
外形寸法 470(W)×590(D)×910(H)
重量 50kg

※表は横にスクロールしてご覧ください。

用途例

  • 半導体製造装置のインターフェイス(ウエハ出入れ)

お問合わせはこちら

このページの先頭へ