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据置型SCRD6/8(6インチ、8インチウエハ用)SCRD6/8

据置型SCRD6/8(6インチ、8インチウエハ用)

※表は横にスクロールしてご覧ください。

種類 SCRD6 SCRD8
使用流体 CO2
使用圧力 15MPa
使用温度 40℃
チャンバー 内径φ160×40mm 内径φ230×20mm
安全機能 電気的安全機構、機械的安全機構、異常過熱防止機構
制御パネル タッチパネルによる運転プログラム設定
寸法 (W)700×(D)640
×(H)985mm(ハンドルを含む)
(W)840×(D)785
×(H)1,040mm(ハンドルを含む)
重量 約150kg 約230kg
電源 AC100V±10% 50/60Hz 16A (Max)
備考 SCRD6のチャンバー チャンバー
  • 大容量チャンバー
    SCRD6:内径φ160mm×深さ40mm
    SCRD8:内径φ230mm×深さ20mm
  • IPA他の溶剤を入れておき、洗浄助剤としながら、置換が可能です。
  • チャンバー内部に温度センサーを装備し、正確な温度検知を行います。

チャンバー開閉機構
ハンドル昇降方式により、チャンバーの開閉をスムースに行います。

※表は横にスクロールしてご覧ください。

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