小型ACUSmall ACU

特長

  1. 2KWの高精度中型ACU(温調:±0.1℃
  2. 1190mm(W)×570mm(D)×510mm(D)のコンパクトサイズ
  3. INV制御による省エネ化

小型ACU

仕様

※表は横にスクロールしてご覧ください。

項目 / 型式 RACU-20VXC
冷凍能力 2KW
設定可能範囲 15℃~30℃
温調精度 ±0.1℃
風量調整範囲 2.1m3/min~4.3m3/min
使用周辺環境 温度:20℃~26℃ 湿度:35%RH~55%RH
電源 3相 AC200V~240V(50/60Hz)
外形寸法 570(W)×510(D)×1190(H)
重量 85kg
使用冷媒 R410A

※表は横にスクロールしてご覧ください。

用途例

  • ウエハ製造装置の熱源機器
  • 液晶製造装置の熱源機器
  • 基板露光機の熱源機器
  • 医療装置 他

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