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ワイドレンジチラーWide range chiller

特長

  1. -50℃~+150℃までのワイドレンジ温調
  2. 30L/minの高流量を実現
  3. 高精度温調(±1.0℃)を実現
  4. INV制御による省エネ化

ワイドレンジチラー

仕様

※表は横にスクロールしてご覧ください。

項目 / 型式 RCU-20WL
冷凍能力 2KW
加熱能力 2KW
制御精度 ±1.0℃
システム 二元冷凍サイクル
電源 3相 AC200V~240V(50/60Hz)
外形寸法 1100(W)×1300(D)×1990(H)
重量 860kg
使用冷媒 R404A
冷却方式 水冷式
適用規格 SEMI S2準拠

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用途例

  • ウエハ製造装置の熱源機器
  • 液晶製造装置の熱源機器
  • PV装置(レーザー加工機 等)の熱源機器
  • 医療装置(CT・MRI 等)他

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