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IPA温調ユニットIPA Temperature control unit

特長

  1. 熱伝達流体(純水)とする熱交換器を備えた
    高精度温調機
  2. 最大薬液系統数を12chとした幅広い機器への
    搭載
  3. 防爆構造および大容量ドレンパンによる
    高い安全性
  4. INV制御による省エネ化

IPA温調ユニット

仕様

※表は横にスクロールしてご覧ください。

項目 / 型式 RCTU-6 RCTU-12
薬液種類 IPA
温度調整範囲 40℃~70℃
温調精度 設定温度 ±0.5℃(装置出口温度)
薬液系統数 6系統(最大) 12系統(最大)
薬液流量 Min:0L/min~Max:0.3L/min(1系統当り)
圧力損失 0.03Mpa以下
ヒーター能力 設定温度到達時間:60min以内
薬液接触部材質 PFA、PTFA
外形寸法 1090(W)×1326(D)×1898(H) 1110(W)×1650(D)×1811(H)
重量 600kg 700kg

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用途例

  • 半導体の洗浄工程
  • 液晶の洗浄工程 他

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