ホーム » 製品情報 » 熱源・温湿度調整機 » 超純水加熱ユニット

超純水加熱ユニットUltrapure water heating unit

特長

  1. 発熱体として、高効率カーボンヒーターを採用
  2. 熱効率向上による省エネ
    (対ハロゲンヒーター比)
  3. 抵抗値の長期安定化によるヒーターの長寿命化
  4. 高精度フィルター搭載(オプション)による
    微細パーティクル対策

超純水加熱ユニット

仕様

※表は横にスクロールしてご覧ください。

項目 / 型式 RHDIW150A
液種類 超純水
設定温度範囲 25℃~85℃
温調精度 設定温度±1℃以内
薬液流量 38L/min(標準)
圧力損失 0.027MPa以下
ヒーター能力 147kw(カーボンヒーター)
純水接触部材質 石英、フッ素樹脂
電源 3相 AC220V~480V ±10%
外形寸法 1010(W)×1260(D)×2120(H)
重量 520kg

※表は横にスクロールしてご覧ください。

用途例

  • 半導体の洗浄工程
  • 液晶の洗浄工程
  • 薬液の希釈加熱 他

お問合わせはこちら

このページの先頭へ