複合ACUComplex ACU

特長

  1. エアドライヤー/チラー/空調機
    一体化したユニット
  2. 一体化によるフットプリントの縮小
    および設置工事の短縮
  3. INV制御による省エネ化

複合ACU

仕様

※表は横にスクロールしてご覧ください。

項目 / 型式 RTC-3A
チラーユニット 冷凍能力 550W
ポンプ 1.1kw(50/60Hz)
ドライヤーユニット 冷凍能力 600W
ヒーター能力 400W
温度制御 ±0.1℃
処理空気量 500L/min
空調部 冷凍能力 1400W
送風機 1kw
ヒーター能力 3.5kw
電源 3相 AC200V(50/60Hz)
外形寸法 810(W)×820(D)×1750(H)
重量 400kg
使用冷媒 R134a

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用途例

  • 露光機の熱源機器
  • 半導体製造装置の熱源機器 他

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