特長
- エアドライヤー/チラー/空調機を
一体化したユニット - 一体化によるフットプリントの縮小
および設置工事の短縮 - INV制御による省エネ化
仕様
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| 項目 / 型式 | RTC-3A | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| チラーユニット | 冷凍能力 | 550W | |||||
| ポンプ | 1.1kw（50/60Hz） | ||||||
| ドライヤーユニット | 冷凍能力 | 600W | |||||
| ヒーター能力 | 400W | ||||||
| 温度制御 | ±0.1℃ | ||||||
| 処理空気量 | 500L/min | ||||||
| 空調部 | 冷凍能力 | 1400W | |||||
| 送風機 | 1kw | ||||||
| ヒーター能力 | 3.5kw | ||||||
| 電源 | 3相 AC200V（50/60Hz） | ||||||
| 外形寸法 | 810（W）×820（D）×1750（H） | ||||||
| 重量 | 400kg | ||||||
| 使用冷媒 | R134a | ||||||
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用途例
- 露光機の熱源機器
- 半導体製造装置の熱源機器 他