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卓上型SCRD4(4インチウエハ用)SCRD4

卓上型SCRD4(4インチウエハ用)

※表は横にスクロールしてご覧ください。

使用流体 CO2
使用圧力 14MPa
使用温度 40℃
チャンバー 内径φ110×26mm
安全機能
電気的安全機構、機械的安全機構、異常過熱防止機構
制御パネル タッチパネルによる運転プログラム設定
外寸 (W)600×(D)450×(H)400mm(ハンドルを含む)
重量 約60kg
電源 AC100V 50/60Hz 10A

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