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高精度チラーユニットHigh precision chiller unit

特長

  1. 2KWの高精度中型チラー(温調:±0.1℃
  2. 400(W)×650(D)×1000(H)の
    コンパクトサイズ
  3. INV制御による省エネ化

高精度チラーユニット

仕様

※表は横にスクロールしてご覧ください。

項目 / 型式 RCU-20XC
冷凍能力 2KW
供給水温度 5℃~35℃
制御精度 ±0.1℃
使用周辺温度 5℃ ~ 40℃
循環流量 20L/min
揚程 10m
電源 単相200V~240V(50/60Hz)
消費電力 1200W
外形寸法 400(W)×650(D)×1000(H)
重量 90kg
使用冷媒 R410a
冷却方式 空冷式
適用規格 RoHs、CE

※表は横にスクロールしてご覧ください。

用途例

  • ウエハ製造装置の熱源機器
  • 液晶製造装置の熱源機器
  • 基板露光機の熱源機器
  • 医療装置 他

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