特長
- 2KWの高精度中型チラー（温調：±0.1℃）
- 400（W）×650（D）×1000（H）の
コンパクトサイズ - INV制御による省エネ化
仕様
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| 項目 / 型式 | RCU-20XC | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 冷凍能力 | 2KW | ||||||
| 供給水温度 | 5℃～35℃ | ||||||
| 制御精度 | ±0.1℃ | ||||||
| 使用周辺温度 | 5℃ ～ 40℃ | ||||||
| 循環流量 | 20L/min | ||||||
| 揚程 | 10m | ||||||
| 電源 | 単相200V～240V（50/60Hz） | ||||||
| 消費電力 | 1200W | ||||||
| 外形寸法 | 400（W）×650（D）×1000（H） | ||||||
| 重量 | 90kg | ||||||
| 使用冷媒 | R410a | ||||||
| 冷却方式 | 空冷式 | ||||||
| 適用規格 | RoHs、CE | ||||||
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用途例
- ウエハ製造装置の熱源機器
- 液晶製造装置の熱源機器
- 基板露光機の熱源機器
- 医療装置 他