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搬送ロボット(半導体製造装置)Conveyance Robot

お客様のご要望に合わせて高生産性と高信頼性及び省スペース化を実現した時代の最先端をいくクリーンルーム対応の搬送ロボットです。

製品ラインナップ

ウエハ搬送ロボット
真空耐熱350℃以上

ウエハ搬送ロボット

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フープ搬送ロボット
 

フープ搬送ロボット

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ロードポート
(ショートタイプ)

ロードポート(ショートタイプ)

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