特長
- ロボットアーム2台搭載により、
Foup搬送時間を大幅短縮 - Foupストック数20個以上
- トラック輸送時の高さ規制にも対応した
可倒式Z軸構造
仕様
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| 項目 / 型式 | Foup Stocker | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 搬送性能 | 最大速度：933mm/s（Z軸・Y軸） 81deg/s（アーム軸） | ||||||
| チャッククランプ | 最大ストローク：25mm（片側） | ||||||
| 安全機構 | アームセンサー（衝突/収納）、Foup検知センサー 他 | ||||||
| 使用流体 | クリーンドライエアー | ||||||
| 必要流量 | 5L/min | ||||||
| 電源 | 3相 AC200V～230V（50/60Hz） | ||||||
| 外形寸法 | 2360（W）×960（D）×2820（H）/（2600H） | ||||||
| 重量 | 本体：500kg 制御BOX：27kg | ||||||
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用途例
- 半導体ウエハFoupのストックと供給搬送