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| 種類 | SCRD8A（200mm用） | SCRD12A（300mm用） |
|---|---|---|
| チャンバー | 内径φ230×20mm | 内径φ320×40mm |
| 外形寸法 | （W）1000×（D）1000 ×（H）2000mm |
（W）1220×（D）1130 ×（H）1860mm |
| 重量 | 約550kg | 約950kg |
| 圧力 | 常用12MPa | |
| 温度 | 常用45℃ | |
| 構成 | 本体、チラー、溶媒回収ユニット、高圧ガス申請書類等 | |
| 電源 | 本体：単相200V,16A チラー：AC100V,12A |
本体：単相200V,23A チラー：AC100V,12A |
| 他 | N2またはエアー | |
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