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日本経済新聞 レクザムの「超臨界」技術が掲載!


2020年7月21日(火)日本経済新聞にレクザムの「超臨界」技術が掲載されました。

★日本経済新聞 ≪電子版≫ 「超臨界」活用し半導体の不純物除去 レクザム

https://www.nikkei.com/article/DGXMZO61742890Q0A720C2LA0000/
 

レクザムのCO2超臨界乾燥装置は、毛細管力や表面張力が発生しない「超臨界流体」を使用するため、微細な構造物も変形・破壊することなく、洗浄後の乾燥を実現した装置です。

時代の要求である、ナノメートルオーダー(ウィルスの数十分の一)という極微細なコンタミ(ゴミ・金属イオンなど)をも発生させない、レクザムの技術。エンジニアが挑んだ探究心の成果をご紹介する内容です。
是非、ご一読下さい。

▲ 完成した試作品と一緒に住田副社長
(コロナウィルス医療従事者ではありません)


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