2020年7月21日（火）日本経済新聞にレクザムの「超臨界」技術が掲載されました。

★日本経済新聞 ≪電子版≫　「超臨界」活用し半導体の不純物除去　レクザム

https://www.nikkei.com/article/DGXMZO61742890Q0A720C2LA0000/
 

レクザムのCO2超臨界乾燥装置は、毛細管力や表面張力が発生しない「超臨界流体」を使用するため、微細な構造物も変形・破壊することなく、洗浄後の乾燥を実現した装置です。

時代の要求である、ナノメートルオーダー（ウィルスの数十分の一）という極微細なコンタミ（ゴミ・金属イオンなど）をも発生させない、レクザムの技術。エンジニアが挑んだ探究心の成果をご紹介する内容です。
是非、ご一読下さい。